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01.产品特点 只需要换传感器单元就可以检测各种对象气体 用盒式传感器单元无需进行气体检测器校正 可以削减成本和维护时间 02.产品用途 半导体工厂/石
01.产品特点
只需要换传感器单元就可以检测各种对象气体
用盒式传感器单元无需进行气体检测器校正
可以削减成本和维护时间
02.产品用途
半导体工厂/石油化学工厂等
在使用半导体材料气体/毒性气体的现场进行泄漏检测
03.对象气体
型号 | 气体 | 满量程 |
XDS-7NH | NH3 | 100ppm |
XDS-7SH | SiH4 | 25ppm |
XDS-7DC | SiHzC1 2 | 25ppm |
XDS-7AH | AsH3 | 250ppb |
XDS-7PH | PH3 | 1ppm |
XDS-7BH | B₂H6 | 500ppb |
XDS-7SE | H₂Se | 250ppb |
XDS-7GH | GeH4 | 1ppm |
XDS-7CL | Cl2 | 5ppm |
XDS-7CF | CIF3 | 1ppm |
XDS-7HC | HCI | 25ppm |
XDS-7HF | HF | 10ppm |
XDS-7HB | HBr | 10ppm |
XDS-7NO | NO | 100ppm |
XDS-7HS | H₂S | 50ppm |
XDS-7C0 | CO | 250ppm |
XDS-7DS | SizH6 | 25ppm |
XDS-7F2 | F2 | 5ppm |
XDS-70Z | O3 | 1ppm |
XDS-7SD | SO2 | 10ppm |
XDS-7ND | NO2 | 10ppm |
04.产品参数
型号 | XPS-7Ⅱ |
检测对象气体 | 半导体材料气体 |
检测原理 | 定电位电解式 |
检测方式 | 泵吸引式 |
检测范围 | 根据规格而定 |
显示分辨率※1 | 满量程的百分之一或者两百分之一 |
指示精度※2 | FS±10%以内 |
报警模式 | 2段报警方式 |
报警方式 | 发出断续声及报警灯闪烁 |
应答时间※2 | 60秒以内(60%应答) |
浓度显示方式 | LCD数字显示 |
使用温度范围 | 0℃~40C |
电源 | 5号碱性干电池4节或专用AC适配器(选购品) |
连续使用时间※3 | 连续12小时以上(使用碱性干电池、无报警、20℃时) |
外形尺寸 | W62XH150XD128mm(突出部份除外) |
重量 | 约1.3kg(不包含电池) |
标配附件 | 肩带、5号碱性干电池4节、过滤片2枚 |
选购品※4 | 专用AC适配器(AC100~240V/DC6V)、传感器专用通电台、数据记录收集套装 |
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